光伏电池片制程用石英管

Quartz tubing for photovoltaic cell process

标准介绍

本文件规定了光伏电池片制程用石英管的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存要求。
本文件适用于以高纯石英砂（二氧化硅）为原料，采用连续电熔工艺生产石英母管，并将其直径扩大到300 mm~600 mm，用于光伏电池片扩散和化学气相沉积等制程用石英玻璃管。

提出部门

中国电子材料行业协会

发布部门

中国电子材料行业协会