集成电路扩散设备用石英外管

Quartz outer tubes for integrated circuit diffusion equipment

标准介绍

本文件规定了集成电路扩散设备用石英外管的术语和定义、分类和标记、材料、技术要求、试验方法、检验规则以及产品标识、包装、运输和贮存。
本文件适用于集成电路制造工艺用12 in及以下的集成电路扩散设备用石英外管产品。
注：1 in=25.4 mm。

提出部门

中国电子材料行业协会

发布部门

中国电子材料行业协会