半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管

Quartz glass tube for 8 in 12 in Semiconductor Process

标准介绍

本文件规定了半导体制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管的术语和定义，分类和产品结构，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输。本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管制品，包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管（以下简称“石英玻璃炉管”），不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。

提出部门

中国电子材料行业协会

发布部门

中国电子材料行业协会