微机电系统（MEMS）技术　MEMS材料微柱压缩试验方法

Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Micro-pillar compression test for MEMS materials

标准介绍

本文件描述了微柱压缩试验方法，用于MEMS 材料压缩特性的高精度、高重复性测量，且试样制造难度适中；测量试样单向压缩应力﹘应变的关系，得到试样压缩弹性模量和屈服强度。
试样是通过微加工技术在刚性（或高刚度）基体上制造的圆柱，其高径比（高度与直径的比值）大于3 为宜。本文件适用于金属、陶瓷、高分子等材料制备的高度小于100 μm 微柱的测试。

提出部门

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会