微机电系统（MEMS）技术　金属膜材料成形极限测量方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Forming limit measuring method of metallic film materials

标准介绍

本文件描述了测量厚度范围为0.5 μm～300 μm 金属膜材料成形极限的方法。
本文件适用于通过压印等成型工艺制造电子元器件、MEMS 的金属膜材料。

提出部门

全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会