半导体单晶硅生长用石英坩埚

Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth

标准介绍

本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。

提出部门

中国电子材料行业协会

发布部门

中国电子材料行业协会