半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth

标准介绍

本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。

提出部门

中国电子材料行业协会

发布部门

中国电子材料行业协会